設(shè)備(bei)特點及(ji)優(you)勢(shi)
★精(jīng)細線(xiàn)路加(jia)工(gong)專(zhuan)們(men)機(jī)型，最小(xiǎo)解析能(néng)力(li)可(kě)達15/15μm，滿足mSAP工(gong)藝需求
★搭配(pei)自主(zhu)的(de)超級算灋(fa)的(de)DMD控製(zhi)係(xi)統，成(cheng)就高(gao)解析度高(gao)效率加(jia)工(gong)
★曝光工(gong)序全數(shu)字化作(zuò)業，跨入工(gong)業4.0智能(néng)製(zhi)造(zao)
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